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															微型半導(dǎo)體薄膜電子制冷器 
															
            
								
            微型半導(dǎo)體薄膜電子制冷器 
            
								
            
									
            
										
            交易信息：
            
										
            
																						
            完全轉(zhuǎn)讓-0.00 元
            
																					
            
									
            
									
            
										
            技術(shù)領(lǐng)域：
            
										
            
											
            
											
            應(yīng)用領(lǐng)域：
            
											
            最后更新時(shí)間：2022-07-29 15:53
            
										
            
									
            
									
            
										
            所在地：
            
										
            
											
            吉林省 長春市 南關(guān)區(qū)
             
										
            
									
            
									
            
										
            所有者：
            
										
            
											
            管理員
             
										
            
									
            
									
            
										
            聯(lián)系方式：
            
										
            
											
            13756056562
             
										
            
									
            
								
            
							
            
						 
            
						 
						 
            
							 
            
								 
								 
            
									 
            
										 									 
            
									 
            
										 

            有效冷卻日趨高功率和高發(fā)熱密度化的微-納電子元件是保證半導(dǎo)體器件運(yùn)行高效、安全、可靠的決定性因素。使用薄膜型電子制冷器進(jìn)行控溫是當(dāng)今制冷領(lǐng)域唯一可行的技術(shù)路徑。本工作利用自主研發(fā)的物理氣相沉積設(shè)備，開發(fā)新的合成技術(shù)和MEMS加工方法，成功制備具有高效散熱功能的微型BiTe基薄膜制冷器件。用于集成電路芯片的微區(qū)制冷、通訊領(lǐng)域中激光二級(jí)管等光電設(shè)備的控溫以及生物醫(yī)藥研究領(lǐng)域中的微區(qū)制冷等。
            

            技術(shù)特點(diǎn)
            

            微型熱電薄膜制冷器件的制備方法與現(xiàn)有半導(dǎo)體加工技術(shù)相兼容，可有效調(diào)節(jié)微-納尺度范圍內(nèi)的高密度熱流，工作響應(yīng)時(shí)間<10ms。器件集成面積<1mm2,厚度<0.6mm，工作電流~200mA時(shí)可以實(shí)現(xiàn)約15度的局部致冷溫差，有效散熱密度>350W/cm2。
            

									 
            
									 
            
										 阿薩德1111245